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    電子潔凈室氣壓規(guī)定及控制篇

    2016-06-01 03:06:30   作者:admin  出處:科瓦特

     
          對(duì)于大部分電子行業(yè)潔凈空間,為了控制一定的潔凈度,需要防止外界污染侵入,所以要保持

    內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。這樣外界的污染就不會(huì)侵入室內(nèi)。其中壓力差的維

    持一般應(yīng)符合以下原則:


                         潔凈廠房
     
    1 潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
     
    2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。
     
    壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理

    意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。



    潔凈室中的氣流速度規(guī)定:

         這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度,在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時(shí)再說(shuō)

    明。
    對(duì)于亂流潔凈室 由于主主要靠空氣的稀釋作用來(lái)減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概

    念,而不直
    接用速度的概念,不過(guò)對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求;
     
    (1)送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大,和單純空調(diào)房間相比,要求速度衰減更快,擴(kuò)散角度更大
     
    (2)吹過(guò)水平面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污

    染,這一速度一般不宜大干0.2m/s。

     
    對(duì)于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱層流潔凈室),由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染,所以截面上的

    速度就是非常重要的指標(biāo)。過(guò)去都參考美國(guó)20gB標(biāo)準(zhǔn),采用0.45m/s.但人們也都了解到這樣大速度所需

    要的通風(fēng)量是極大的,為了節(jié)能,也都在探求降低速一風(fēng)速的可行性。


    潔凈室設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)圖
     
    在我國(guó),《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范))都是這樣規(guī)定的
    垂直平行流(層流)潔凈室≥0.25m/s

                 層流潔凈室示意圖

     
    水平平行流(層流)潔凈室≥0.35 m/s

    潔凈室水平層流示意圖

                   

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